中科院長春應(yīng)化所發(fā)表嵌段共聚物引導(dǎo)組裝研究綜述
2016-06-28 來源:中科院生態(tài)環(huán)境高分子材料重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室
近日,中國科學(xué)院長春應(yīng)用化學(xué)研究所生態(tài)環(huán)境高分子材料重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室季生象課題組應(yīng)邀撰寫的題為Directed self-assembly of block copolymers on chemical patterns: A platform for nanofabrication 的綜述在Progress in Polymer Science上發(fā)表(Prog. Polym. Sci. 2016, 54–55, 76–127)。
該綜述對(duì)嵌段共聚物在化學(xué)圖案上引導(dǎo)組裝的原理、流程和技術(shù)手段,及其在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用進(jìn)行了全面的總結(jié)和評(píng)述,并對(duì)嵌段共聚物引導(dǎo)組裝的未來發(fā)展前景進(jìn)行了展望,便于讀者快速全面地了解該研究領(lǐng)域的發(fā)展?fàn)顩r。
使用化學(xué)圖案(chemical pattern)引導(dǎo)組裝(directed self-assembly,DSA)嵌段共聚物薄膜微相分離,可以獲得長程有序排列的納米結(jié)構(gòu)。相對(duì)于光刻法得到的納米結(jié)構(gòu),引導(dǎo)組裝制備的納米結(jié)構(gòu)具有相疇定位高度精準(zhǔn)、線邊粗糙度小等優(yōu)點(diǎn),并可以通過自我修復(fù)修正光刻法產(chǎn)生的缺陷以及密度倍增法解決光刻法極限分辨率的難題,是制造下一代芯片和存儲(chǔ)媒體的理想候選技術(shù)之一。
該課題組自2011年組建以來一直在開展嵌段共聚物引導(dǎo)組裝方面的研究工作,通過分子設(shè)計(jì)合成新型嵌段共聚物,并研究其在化學(xué)圖案上的引導(dǎo)組裝行為,主要包括:1)高χ值嵌段共聚物的合成及其引導(dǎo)組裝;2)三嵌段共聚物的引導(dǎo)組裝;3)新型聚合物分子刷的合成。
該課題組還應(yīng)邀在Chinese Journal of Polymer Science上發(fā)表了題為From self-assembled monolayers to chemically patterned brushes: Controlling the orientation of block copolymer domains in films by substrate modification的聚合物分子刷方面的綜述( 2016, 34, 659-678) 。
課題組的相關(guān)工作獲得了中科院百人計(jì)劃、國家自然科學(xué)基金委和吉林省科技廳等項(xiàng)目的大力支持。
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該綜述對(duì)嵌段共聚物在化學(xué)圖案上引導(dǎo)組裝的原理、流程和技術(shù)手段,及其在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用進(jìn)行了全面的總結(jié)和評(píng)述,并對(duì)嵌段共聚物引導(dǎo)組裝的未來發(fā)展前景進(jìn)行了展望,便于讀者快速全面地了解該研究領(lǐng)域的發(fā)展?fàn)顩r。
使用化學(xué)圖案(chemical pattern)引導(dǎo)組裝(directed self-assembly,DSA)嵌段共聚物薄膜微相分離,可以獲得長程有序排列的納米結(jié)構(gòu)。相對(duì)于光刻法得到的納米結(jié)構(gòu),引導(dǎo)組裝制備的納米結(jié)構(gòu)具有相疇定位高度精準(zhǔn)、線邊粗糙度小等優(yōu)點(diǎn),并可以通過自我修復(fù)修正光刻法產(chǎn)生的缺陷以及密度倍增法解決光刻法極限分辨率的難題,是制造下一代芯片和存儲(chǔ)媒體的理想候選技術(shù)之一。
該課題組自2011年組建以來一直在開展嵌段共聚物引導(dǎo)組裝方面的研究工作,通過分子設(shè)計(jì)合成新型嵌段共聚物,并研究其在化學(xué)圖案上的引導(dǎo)組裝行為,主要包括:1)高χ值嵌段共聚物的合成及其引導(dǎo)組裝;2)三嵌段共聚物的引導(dǎo)組裝;3)新型聚合物分子刷的合成。
該課題組還應(yīng)邀在Chinese Journal of Polymer Science上發(fā)表了題為From self-assembled monolayers to chemically patterned brushes: Controlling the orientation of block copolymer domains in films by substrate modification的聚合物分子刷方面的綜述( 2016, 34, 659-678) 。
課題組的相關(guān)工作獲得了中科院百人計(jì)劃、國家自然科學(xué)基金委和吉林省科技廳等項(xiàng)目的大力支持。
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嵌段共聚物在化學(xué)圖案上的引導(dǎo)組裝流程
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